Edwards宣布iXH干泵銷售量突破1000大關(guān)

全球真空和尾氣處理設(shè)備和服務(wù)的主要供應(yīng)商Edwards近日宣布，自2008年2月推出以來短短一年時(shí)間已經(jīng)向半導(dǎo)體和太陽(yáng)能制造商售出1000套應(yīng)用于苛刻工藝的iXH干式真空泵。

　“太陽(yáng)能和新半導(dǎo)體制造工藝(如砷化鎵化合物半導(dǎo)體)要求能夠處理大流量氫氣的真空，”Edwards公司的CEO尼格爾-漢頓(Nigel Hunton)說，“iXH系列干泵是為解決這些難題而設(shè)計(jì)的，它更長(zhǎng)的使用壽命和更低的動(dòng)力消耗從而減少了運(yùn)行成本。iXH真空泵在業(yè)界的迅速推廣證明了它能成功應(yīng)對(duì)這些挑戰(zhàn)?！?/span>

　　氫氣是一種難以抽取的氣體，因?yàn)樗肿恿啃?，粘度低。iXH真空泵系統(tǒng)采用一系列具有高抽氣速率的干式泵和增壓泵以達(dá)到佳的壓縮比，從而實(shí)現(xiàn)高效率地抽取氫氣。該系統(tǒng)為模塊化設(shè)計(jì)，可靈活配置，因此易于滿足太陽(yáng)能和半導(dǎo)體制造工藝中的現(xiàn)場(chǎng)安裝和性能要求。部件可以上下堆疊，從而達(dá)到業(yè)內(nèi)的占地面積。型號(hào)的 iXH真空泵可針對(duì)具體應(yīng)用要求靈活配置，并且由單個(gè)控制器進(jìn)行管理，對(duì)操作人員而言這是一種簡(jiǎn)單易用、可無縫集成的真空系統(tǒng)。

　　與Edwards上一代真空泵相比，用于苛刻工藝的iXH干式真空泵系列具有更大的處理能力和較低的運(yùn)行成本(CoO)。運(yùn)行成本的下降是通過能耗下降10%、維修間隔延長(zhǎng)以及意外停機(jī)時(shí)間減少而實(shí)現(xiàn)的。產(chǎn)品操作溫度范圍廣(有助于降低副產(chǎn)物的沉積)，粉末處理能力增強(qiáng)，并采用的氣體分配以及一種延長(zhǎng)工藝壽命并減少泄漏危險(xiǎn)的的真空泵密封。