如何選擇INFICON真空計(jì)
一，皮拉尼真空計(jì)
1.皮拉尼真空計(jì)原理
加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度
由于氣體粒子與 電阻絲碰撞離開(kāi)時(shí)帶走了能量，電阻絲的溫度會(huì)發(fā)生變化
熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關(guān)系
2.衍生出兩種類型的皮拉尼規(guī)
1，穩(wěn)定溫度，測(cè)量施加的電壓變化等效測(cè)量真空度（INFICON PSG500）
2，穩(wěn)定電壓，測(cè)量溫度變化等效測(cè)量真空度（熱偶規(guī)）
3.氣體的熱傳導(dǎo)，與下列提條件有關(guān):
1，氣體類型
2，壓力大小
4.皮拉尼真空計(jì)測(cè)量范圍與精度
測(cè)量范圍（空氣,氧氣,一氧化碳,氮?dú)猓? x 10-4至 1000 mbar
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精度(氮?dú)?: |
1x 10-3… 100毫巴 |
±15% |
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5 x 10-4… 1 x 10-3毫巴 |
±50% |
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100 ... 1000毫巴 |
±50% |
5.皮拉尼真空計(jì)的優(yōu)特點(diǎn)
燈絲部分在不影響精度與速度的情況下，加以大的保護(hù)，大大延長(zhǎng)了燈絲的使用壽命
6.皮拉尼真空計(jì)具體型號(hào)
l PSG050/051
l PSG100-S PSG101-S
l PSG500/500-S PSG502
l 皮拉尼電容膜片復(fù)合真空計(jì)PCG400 PCG410 PCG550
1.有皮拉尼規(guī)與特制的陶瓷薄膜規(guī)合成在一起
2.兩種原理的規(guī)管全過(guò)程都工作
3.100 mbar—1000 mbar 使用薄膜規(guī)信號(hào)
4. 1 mbar– 100mbar 兩規(guī)信號(hào)同時(shí)采用
5.5x10-4mbar –1 mbar 采用皮拉尼信號(hào)
6.輸出的真空度信號(hào)（電壓）連續(xù)，無(wú)跳躍
7.皮拉尼真空計(jì)應(yīng)用行業(yè)
l 高真空泵的前級(jí)壓力測(cè)量，如光伏，鍍膜，等離子行業(yè)
l 中低真空測(cè)量，如照明，冶金
l 真空連鎖控制，高真空計(jì)的點(diǎn)火開(kāi)關(guān)控制，如PEG100
l PSG050可替代TR211，PSG051可替代TR216
l PCG400 PCG410(現(xiàn)在已為PCG550，PCG400/PCG410已經(jīng)停產(chǎn))與PSG500 基本相同，但彌補(bǔ)了皮拉尼規(guī)大氣測(cè)量段精度不足的弱點(diǎn)，而且不受氣體類型的影響，在真空爐，單晶爐，多晶爐，藍(lán)寶石爐上應(yīng)用
l PSG100 PSG101，與PSG500/PSG050 基本相同，但因?yàn)榫哂型ㄓ崊f(xié)議功能，在大系統(tǒng)中應(yīng)用
二，電容薄膜規(guī)CDG025D/CDG045/100/160/200
1. 電容薄膜規(guī)工作原理
l 壓力使膜片變形，變形量與壓力大小成比例關(guān)系
l 通過(guò)測(cè)量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測(cè)量真空度
2. 電容薄膜規(guī)特點(diǎn)
l 以的純陶瓷傳感器室為基礎(chǔ)構(gòu)成
l 在嚴(yán)酷和腐蝕性環(huán)境中,穩(wěn)定與的度壓強(qiáng)測(cè)量
l 快速的預(yù)熱和恢復(fù)時(shí)間,提高生產(chǎn)率
l 的長(zhǎng)期穩(wěn)定性,再現(xiàn)性和重復(fù)性
l 由于電子學(xué)直接安裝在傳感器上,改進(jìn)了溫度補(bǔ)償和EMC兼容性
l 對(duì)環(huán)境條件變化的度的降低使得測(cè)量更穩(wěn)定
l 快速預(yù)熱在開(kāi)機(jī)的一分鐘內(nèi)達(dá)到快速穩(wěn)定和進(jìn)入 準(zhǔn)備使用狀態(tài)
l 一鍵按鈕: 調(diào)零功能和設(shè)點(diǎn)調(diào)整
l 抗腐蝕純陶瓷傳感器
l 能經(jīng)受數(shù)百萬(wàn)次壓強(qiáng)循環(huán)周期,包括大氣壓 沖擊,無(wú)任何降低性能的跡象
l 暴露大氣壓后快速恢復(fù),無(wú)需隔離閥
l 對(duì)蒸氣介質(zhì)不
l 的傳感器屏蔽 ()延長(zhǎng)真空計(jì)在污染的工藝過(guò)程中的使用壽命
3. INFICON陶瓷
l 陶瓷的性
1， 無(wú) “記憶”效應(yīng)
2， 陶瓷無(wú)疲勞問(wèn)題
3， 的溫度補(bǔ)償
4， 的零點(diǎn)穩(wěn)定性
l 低使用成本
1. 非凡的使用壽命
2. 無(wú)需隔離閥
4. Sky CDG025D測(cè)量范圍
5. 加熱型薄膜規(guī)
6. 加熱型
l 零飄極小0.1%FS/年（干凈真空環(huán)境）
l 更高的精度
l 環(huán)境溫度變換/環(huán)境壓力變化/環(huán)境氣流變化對(duì)精度無(wú)影響
l 比工藝更快的預(yù)熱啟動(dòng)時(shí)間’
l 快速恢復(fù)時(shí)間 大氣壓 < 1 min within 5mV
l 任意安裝角度
l 抗污染，可抵抗工藝氣體或工藝產(chǎn)生氣體的腐蝕影響
7.電容薄膜規(guī)的應(yīng)用
要求高的應(yīng)用條件下，而快速的壓強(qiáng)測(cè)量
l 用于刻蝕，CVD,PVD,ALD半導(dǎo)體設(shè)備制造，如太陽(yáng)能光伏行業(yè)的PECVD用的很多，刻蝕上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比較多，抗污染性能比較好。一般用的PECVD還有多晶爐上用的MKS的電容薄膜規(guī)622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比較多，如Ruth&Rau公司的PECVD設(shè)備標(biāo)配產(chǎn)品為MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,質(zhì)量流量計(jì)用的是1179BX23CR14VSPC1 800sccm/SiH4和1179BX5CR14NSPC1 2000sccm/NH3，用的好多PECVD設(shè)備上用的是INFICON的CDG025D。
l 資料貯存和顯示器制造設(shè)備
l 工業(yè)真空設(shè)備
l 常用度真空測(cè)量
三，熱電離規(guī)
1.熱電離規(guī)原理
Richardson 效應(yīng): 高溫?zé)艚z發(fā)射電子，高能量電子撞擊氣體分子，氣體分子的一個(gè)或多個(gè)電子被撞擊出去，形成帶正電的離子
1）帶電離子被離子收集極捕捉收集放大輸出
2）離子流的大小與氣體壓力成比例關(guān)系
2. 兩種類型熱電離規(guī)
3. 熱電離型復(fù)合規(guī)
l HPG400
l BPG400/-SP/-SD/SR
l BPG402
l BCG450B-A規(guī)，皮拉尼規(guī)，薄膜規(guī)三種型號(hào)復(fù)合在一起
l
4.及應(yīng)用
l BPG
n 測(cè)量范圍寬，一個(gè)規(guī)管覆蓋13個(gè)量程5x10-10–1000 mbar
n 精度高，極好的重復(fù)性5%
n 燈絲材料鍍釔的銥絲有極好的抗氧化能力，皮拉尼自鎖保護(hù)，使燈絲并不會(huì)因突然暴露大氣而燒毀。
n 方便的校準(zhǔn)調(diào)節(jié)
n 注意事項(xiàng)：
u 對(duì)氣體有選擇性
u 抗污染能力弱
n 普遍應(yīng)用于從低到真空的測(cè)量
n 在工業(yè)，半導(dǎo)體，研究行業(yè)應(yīng)用
l BPG402
n 雙燈絲，大大延長(zhǎng)使用壽命
n 電離規(guī)的工作可以自定義控制
n 探頭備件自帶校準(zhǔn)參數(shù)，精度與重復(fù)性
l HPG400
n 電離規(guī)與皮拉尼的復(fù)合
n 皮拉尼自鎖保護(hù)電離規(guī)
n 電離規(guī)的工作啟動(dòng)點(diǎn)可以一定范圍內(nèi)自定義
n 簡(jiǎn)易的校準(zhǔn)功能
n 相對(duì)便宜的價(jià)格
l BCG450
n 可調(diào)的電離規(guī)工作起點(diǎn)
n 的重復(fù)性
n 的大氣端測(cè)量
四，冷電離規(guī)（潘寧規(guī)）
1.冷電離規(guī)原理
通過(guò)氣體放電方式產(chǎn)生電子，通過(guò)磁場(chǎng)使電子獲得能量將氣體分子電離
2.潘寧規(guī)特點(diǎn)與應(yīng)用
l 測(cè)量范圍：5 x 10-9 to 1 x 10-2 mbar
l 全金屬密封
l 無(wú)燈絲
l 易清洗
l 應(yīng)用于普通的高真空測(cè)量
3.冷規(guī)復(fù)合規(guī)MPG400特點(diǎn)與應(yīng)用
l 冷規(guī)與皮拉尼規(guī)的復(fù)合
l 測(cè)量范圍廣： 5x10-9-1000 mbar
l 易于保養(yǎng)清洗
l 無(wú)高真空燈絲，
l 應(yīng)用于普通高真空測(cè)量
4. 冷規(guī)及復(fù)合規(guī)性能比較
