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真空與泵浦
日期：2024-11-29 23:19
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摘要：
真空泵浦重要的性能規(guī)格為壓力( Ultimate Pressure) 以及排氣速度( Pumping Speed) 。壓力指真空泵可抽到的低壓力或稱高真空( Max. Vacuum)； 排氣速度則是指單位時(shí)間內(nèi)泵浦進(jìn)氣口的容積流量大小，通常以m3/hr 或L/ min表示，而排氣速度之大小會(huì)影響真空系統(tǒng)到達(dá)指定真空度所需要的時(shí)間。真空泵浦依真空度來區(qū)分可分為低真空泵浦、中真空泵浦、高真空泵浦)以及真空泵浦。由于氣體在低真空時(shí)屬黏滯流(Viscous Flow)，氣體的物理行為可視為連續(xù)(Continuum) ，真空泵浦可利用機(jī)械容積變化進(jìn)行吸氣、壓縮及排氣的方式抽氣；當(dāng)氣體于中真空環(huán)境時(shí)，氣體行為變?yōu)檫^渡流(Transition Flow)形態(tài)，其特性較為復(fù)雜。 真空度的壓力單位以托耳( Torr ) 以及壓力單位，帕Pascal (Pa) 為常見定義為：標(biāo)準(zhǔn)大氣1ATM=760mmHg=760Torr
