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羅茨真空泵的及其工作原理

日期:2024-11-28 16:30
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摘要:
羅茨真空泵(簡(jiǎn)稱羅茨泵)是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡?。它是由羅茨鼓風(fēng)機(jī)演變而來(lái)的。根據(jù)羅茨真空泵工作范圍的不同,又分為直排大氣的低真空羅茨泵;中真空羅茨泵(又稱機(jī)械增壓泵)和高真空多級(jí)羅茨泵。
  羅茨真空泵的大
  在較低入口壓力時(shí)具有較高的抽氣速率,但它不能單獨(dú)使用,必須有一臺(tái)前級(jí)真空泵串聯(lián)。待被抽系統(tǒng)中的壓力被前級(jí)真空泵抽到羅茨真空泵允許入口壓力時(shí),羅茨真空泵才能開始工作。并且在一般情況下,羅茨真空泵不允許高壓差時(shí)工作,否則將會(huì)過載和過熱而損壞,因此使用羅茨真空泵時(shí)必須合理地選用前級(jí)真空泵,安裝必要的保護(hù)設(shè)備。
  羅茨泵的工作原理
  羅茨真空泵泵腔內(nèi),有二個(gè)“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對(duì)平行軸上,由傳動(dòng)比為1的一對(duì)齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。在轉(zhuǎn)子之間,轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間,保持有一家的間隙,可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。由于羅茨泵串聯(lián)使用。
  羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn),被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間內(nèi),再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后的VO空間是全封閉狀態(tài),所以,在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。
  但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣,VO空間與排氣側(cè)相通時(shí),由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高,則有一部分氣體返沖到空間VO中去,使氣體壓強(qiáng)突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),氣體排出泵外。
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